重點一：成立於2022年的Substrate，已募資逾1億美元、估值突破10億美元，計劃在美國自建晶圓廠，以挑戰ASML（艾司摩爾）在曝光機市場的壟斷。
重點二：Substrate宣稱自研緊湊型EUV（極紫外）曝光系統，目標於2028年量產，但專家質疑三年時程過於激進。
重點三：投資方包括Founders Fund、General Catalyst、以及In‑Q‑Tel（美國政府非營利投資機構）。公司約50人，核心成員來自IBM、台積電等企業。
舊金山新創Substrate近日宣布完成超過1億美元（約新台幣306億元）募資，本輪估值逾10億美元。公司目標在美國自建、搭載自研曝光設備的晶圓廠，試圖打破ASML（艾司摩爾）在先進曝光機市場的長期壟斷。
創辦人詹姆斯・普勞德（James Proud）接受《華爾街日報》採訪指出，公司核心創新是一套緊湊型、採用超短波長雷射的EUV（極紫外）曝光系統，可在矽晶圓上蝕刻奈米級複雜圖案。
同時，Substrate不打算將設備出售給代工廠，而是擬以垂直整合模式自行投片、量產晶片，並計劃在2028年啟動量產。
關於它們的目標，形象短片中的文案說的十分直白：America ivnented semiconductors. We will lead again.」（美國發明了半導體；我們將再次領導。）
目標打倒ASML！企圖將曝光成本減半
報導指出，Substrate的投資陣容強大，包括PayPal、Palantir共同創辦人彼得・蒂爾（Peter Thiel）旗下的Founders Fund（創辦人基金）、一級創投General Catalyst，以及In‑Q‑Tel（美國政府非營利投資機構）。公司現有逾50名員工，多來自IBM、台積電、Google、Applied Materials（應用材料）與美國國家實驗室等。
Substrate宣稱，旗下製程設備皆為自行研發並生產，並將以粒子加速技術重新定義晶片曝光（Lithography，光刻／曝光）流程。 據悉，其機器以高速粒子束處理晶圓上極微尺寸線路的製程步驟，主張能克服傳統EUV路線的瓶頸，進而在高階處理器製造環節提供替代選項。
Substrate備受矚目的原因在於，目前全球最先進晶片的量產設備幾乎仰賴ASML的EUV與High-NA EUV系統，而台積電等晶圓代工龍頭是這些設備的核心使用者。
Substrate的策略，是以新型曝光機切入此高壁壘市場；若其粒子加速方案真能達到甚至超越現行EUV在解析度、疊對精度與產能表現，將直接影響尖端製程路線圖與設備採購結構。
此舉不僅挑戰ASML的技術優勢，也可能為代工與IDM（整合元件製造）在先進節點（如2nm、1.x nm）帶來新的工藝選擇，牽動上游材料、光罩設計與下游高效能運算（HPC）與AI晶片的產品時程。
Substrate表示，目前已解決「技術上最棘手的難題」，把突破點鎖定在「曝光精度」與「產能」兩大指標，欲讓製造商在成本與良率上取得競爭優勢。
總體而言，Substrate的願景在於：透過自家設備將半導體製程中的曝光成本減半，藉此在美國本土建立先進晶片製造產線、降低對海外供應鏈的依賴，並重奪半導體製造的主導權。
三年內造出供應鏈？時程遭質疑過於激進
依據《華爾街日報》報導，業界普遍認為先進曝光技術的研發與量產門檻極高。ASML投入約25年、逾100億美元（約新台幣3067億元），才讓EUV微影技術大規模導入；單機售價超過3.5億美元（約新台幣107億元），主要客戶為台積電與英特爾（Intel）。
報導並引述不具名專家指出，要在更大晶圓面積維持同等精度並實現高速曝光，往往需要十年級距的技術累積；中國業者多年嘗試突破相關瓶頸，仍受限於工藝與供應鏈。
針對外界對技術門檻的疑慮，Substrate提供奈米級印刷圖像以佐證性能，但外界對其三年內建成複雜且資本密集的半導體供應鏈抱持保留，認為其2028量產時程偏「激進」。
此外，Substrate提出以「數十億美元」資本支出建廠的構想，遠低於今日動輒200億美元以上的先進晶圓廠建置成本，亦引來可行性質疑。
半導體界的Tesla？Substrate有望顛覆產業結構
Substrate倡議的垂直整合路線，與半導體產業近半世紀的全球分工模式相左。報導引述產業人士指出，在高研發、高資本支出的大型製造業中，將設計、設備到量產全握於一家公司，難以長期維持財務與技術韌性。不過若成功，Substrate將有助於美國在地製造與供應鏈安全，也符合川普政府的政策方向。
報導指出，在拜登政府期間，Substrate曾與CHIPS研發辦公室接觸，但部分官員認為其計畫難以實現。Proud於2019年取得美國籍，並表達希望遏止中國在半導體的進展；若其技術與商業模式落地，有機會如Tesla、SpaceX般，以解決艱難工程問題並掌控製造流程來重塑產業結構。
Proud強調：「我們想大幅增加晶圓的數量；我們認為需求會存在。」
本文初稿為AI編撰，整理．編輯/ 李先泰
