林本堅從網球體悟人生

2006.02.15 by
數位時代
林本堅從網球體悟人生
Profile 林本堅 台積電微製像技術處資深處長 現年64歲,美國俄亥俄州立大學電機博士、碩士、台灣大學電機系。曾於IBM華生實驗室工作...

Profile
林本堅 台積電微製像技術處資深處長 現年64歲,美國俄亥俄州立大學電機博士、碩士、台灣大學電機系。曾於IBM華生實驗室工作22年,後來自行創業8年。2000年加入台積電,為次微米光刻技術世界級權威,發表63篇論文、獲得35項專利,目前為三本國際科學期刊的總編輯。獲得IEEE(國際電機電子工程學會)、SPIE(國際光學工程學會)院士。

一月中旬新竹出現難得的驕陽,清大網球場上出現一批不到十二歲的小朋友們底線邊上,來回抽球奔跑熱身,這是台積電第三度舉辦的「台積之友盃」十二歲級網球精英賽,只有排名全台前十六強的明日之星得以受邀參賽。 場邊出現一個特別面孔,他是台積電微製像技術處資深處長林本堅。身為這屆比賽贊助者的他,不只站在場邊觀賽,更是親自下場與小球員進行雙打友誼賽。 在「台積之友盃」十二歲級網球精英賽中,得到前四名的小選手們,可獲得一年的獎助學金,其中冠軍選手每月有四千元新台幣的獎勵。友誼賽結束後,林本堅走下球場,還有點氣喘吁吁的他,完全不介意剛剛自己這隊輸球,豎起大拇指讚賞這些小選手,「我十二歲連球拍都沒摸過,他們的表現實在厲害,希望他們繼續努力下去。」

母親的禮物
從小接觸半導體關鍵技術

雖然十二歲的「小」林本堅,沒有機會打網球。但是那年媽媽送他一台老式的六×照相機,卻讓他一頭栽進光學世界,五十多年來從一而終,成為世界級的微影專家。 在半導體製造的世界裡,微影技術至為重要。它的好壞,足以影響半導體廠商是否能繼續將製程微縮,往下一個世代邁進,而不被淘汰出局。被業界喻為「全球十多位專家中排名非常前面」的林本堅,於二○○二年研發出來一九三奈米浸潤式(Immersion)微影技術,讓台積電一口氣跳躍成長三個技術世代,成為世界的領先者,「現在,我們有本事做到一九奈米,」一直深受張忠謀器重的林本堅強調,因為成本的考量,這技術至少要到二○一○年才會普遍。 從小生長在越南西貢的林本堅,父親是當地英文高中的校長,家境優渥,高三那年,他獨立一人來台就讀新竹中學,隔年考上台大電機系。電機系畢業後,因為母親贈送的相機,而對光學產生興趣的他,選擇前往美國俄亥俄州大學研究新興雷射,並以全像學(Holography)研究(光儲存的技術之一,可加大單位面積的儲存容量)拿到電機博士。

五十歲創業
八年後結束公司加入台積電

取得博士後,林本堅前往當時技術最先進的IBM工作,一待就是二十二年。在紐約華生實驗室(Watson Lab)從事研究的他,帶領團隊從一微米的光刻技術開始研發,一路前進到○.七五、○.五微米。同時,被林本堅第一個研發出來,命名為深紫外線(Deep UV)的世界最短波長光線,至今已問世將近三十年,目前仍為許多半導體廠採用。「當時,他的每一個研究成果,都是領先全世界,」比林本堅晚加入華生實驗室的鈺創董事長盧超群,非常讚賞這位大師級的前輩。 在研究領域一帆風順的林本堅,在他五十歲那年,決定讓生命變得不平凡,出來創業。「那年我剛好取得退休資格,我就問我自己:要不要出來看看世界?」當時他太太也在IBM做系統分析,收入算不錯,加上兩個小孩都已經大學畢業,在不需要為錢繼續留在IBM的考量下,所以決定創業。 「這是我最後的機會,如果不出來,我一輩子會後悔沒有出來。」在家人的支持下,為降低風險,要太太不能辭職的他,自己跑到德州奧斯汀(Austin),創立領創公司(Linnovation),開發與微影技術相關的軟體。但是,在競爭對手遭大公司併購後,林本堅的這家小公司顯得勢孤力單。正當他祈求十四歲就開始信仰的上帝,希望有人出手購買時,一九九七年回台接任台積電研發資深副總的蔣尚義,突然撥了通電話給他,希望能借助他的技術,將微影跟光罩結合,突破台積電遇到的瓶頸。

突破性研究
使台積電主導業界規格

在與蔣尚義接觸的兩個月裡,他非常肯定蔣尚義提出的「遠見」,於是他決定讓人生再轉個彎,結束八年的創業生涯,加入台積電。林本堅讓他五十歲後的人生,產生許多彎角,但他始終不放棄的就是「微影」。這就像是一盤正在搶七、雙方僵持不下的賽局,改變戰略上網截擊,才會有「贏球」的機會。 事實上,九○年代末期半導體快速演進,也讓產業的藍圖出現瓶頸和歧路,像是一九三奈米波長的機台,從一九九六年開始,逐漸出現無法突破的極限,從那時候開始,就有非常多業者投入一五七奈米波長的研究,但經過幾年下來,成效不佳,幾十億美元的研發費用就這樣蒸發。當時,也沒有一套完整解決方法的林本堅,有天突然靈機一動,想到水的折射效應,經過計算波長可減少到一三四奈米,比一五七奈米還低,而且又可節省成本。 二○○二年一場國際光電學會技術研討會上,林本堅發表的這項實驗結果技驚四座,讓浸潤式微影技術取得江湖地位,也讓台積電首次主導業界規格。一年後,與荷蘭ASML半導體設備公司共同研發的機台也順利問世,包括IBM在內十家已訂購一五七乾式機台的業者,決定全部退單,跟進台積電。之後,林本堅為台積電光罩和光刻研發團隊建立的○.一三微米製程,也達到與英特爾同步的境界,「我對Burn(林本堅的英文名字)的技術,真的是非常佩服,」台積電研發資深副總蔣尚義說,「還好當年有把他找回來。」

關鍵性成就
台積電取得規格主導權

去年底,在半導體業界裡有著崇高地位的IEDM(International Electron Devices Meeting)國際研討會上,台下坐了二千位包括德州儀器(TI)技術長(Hans Stork)在內的英特爾、IBM、摩托羅拉(Motorola)等半導體廠的菁英研發人員,他們都在仔細聆聽代表台積電第一次受邀演講的林本堅,發表「次六五奈米製程以下的微影技術」(Lithography for Manufacturing of Sub-65nm Nodes and Beyond),只要將水換成一種更濃的介質後,就可以推進到一九奈米的光刻技術,「現場所有人眼睛都睜得大大的,」又一次獲得滿堂彩的他,小小驕傲地表示,「到目前為止都還沒有人反對我的理論。」 如今,這位六十四歲的世界級微影大師,或許在網球場上已經做不出優美的截擊,但他早已經贏得這場人生的賽局。 網球與微影 激發林本堅的人生智慧 愛運動的林本堅,年輕時喜歡打羽毛球或是乒乓球,直到四十歲時,才在同事的慫恿下,決定改打網球。然而擔任這次比賽贊助人的他,也決定以「網球、晶圓、微影、人生」為題目,跟所有小選手分享他所領悟到的人生智慧。 一九七五年,林本堅在IBM第一次接觸接晶圓時,當時的一吋晶圓只有十元硬幣的大小。隨著晶圓不斷地擴大,到了八吋的時候,「已經跟我第一隻木頭製球拍的拍面一樣大,」林本堅拿出珍藏已久的球拍,與八吋晶圓比較時表示;到了十二吋晶圓時,已經與目前的網球拍差不多大小,「球拍上的網線,也與晶圓上的格子相同。」 林本堅順手拔了一根網球上的線解釋,這些比頭髮還細的線,如果把它切開來,每個剖面可以放進六五奈米製程的三千二百個電晶體,如果用四五浸潤式機台的話,數量就會加倍。另外,如果以球場長度二十六.二公尺計算,小朋友發出來的球,只需要一秒就可以到對場,這時間已足夠讓○.一三微米電路運算三十億次,「如果是球王費德洛(Roger Federer)發球的話,也足夠運算十億次。」 談到球王,林本堅表示,小選手們除了要勤加練習外,還要培養智育與德育,才能擊敗對手。「一個底線抽球來回不到兩秒,所以要養成預測對手的能力,」他強調,要記住對方的打球習性,才能擬訂戰略,克敵制勝。但儘管球場上你來我往,但要有學會面對失敗的風度,「只有愛你的對手,你才會少一個競爭者。」 最後,他舉台積電為例,從執行長蔡力行到旗下很多主管,其實都是校隊級的運動健將、風雲人物,「我們絕對沒有刻意選擇,」他強調,一個好的領導者跟好的運動員都一樣,必須具備智慧、意志與競爭力,「有了這些,要做什麼都會成功。」

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