ASML來台設技術培訓中心!助攻台積電先進製程,年產360位工程師

2020.08.24 by
簡永昌
ASML來台設技術培訓中心!助攻台積電先進製程,年產360位工程師
簡永昌攝影
艾司摩爾來台設立EUV技術研發中心,不僅未來能替自家及客戶提供每年360位技術工程師的訓練,對台積電來說也是在先進製程開法與量產上,獲得強力後盾。

半導體微影技術供應商艾司摩爾(ASML)斥資1,350萬歐元(約新台幣4.7億元)打造、佔地近500坪的EUV(極紫外光)全球技術培訓中心,正式落腳台南科學園區,並於本月20日正式開幕。

艾司摩爾 EUV全球技術培訓中心開幕現場,包括經濟部長王美花(右二)、台積電晶圓廠營運副總經理王英朗(左一)都來到現場。
簡永昌攝影

艾司摩爾可能不是那麼耳熟能詳,但談起「台灣之光」台積電之所以能成功量產7奈米強效版:N7+的關鍵,就是因為成功導入EUV技術所致,而目前全球能提供該技術的廠商,只有艾司摩爾,且2019年艾司摩爾全年出貨量為26台,其中有近20台都交予台積電。

台灣作為全球採用EUV技術最大的市場、EUV裝機規模領先全球,艾司摩爾全球副總裁暨台灣區總經理陳文光就表示,艾司摩爾落腳台南設立培訓中心,不僅能孕育技術所需人才,也將能提供重要客戶台積電完整的服務,同時實現扮演支援客戶先進製程開發與量產的角色。

台積電讚許:是EUV讓晶片能大幅進步

「因為有了它(EUV機器),才能讓晶片有長足的進步,」台積電晶圓廠營運副總經理王英朗在上台致詞時這樣大力的稱讚。

王英郎表示,EUV機台特別昂貴(逾30億新台幣)因此要好好善用它才能物超所值。
簡永昌攝影

他進一步說明,過去台積電也曾希望艾司摩爾能來台南設立培訓中心,如此,就不需要每年派人遠赴荷蘭,「而且名額也不多,」王英朗透露;如今在台南就能獲得完整的訓練,他也表示這對於台積電未來在先進製程的發展肯定有幫助,「更何況這一台機器可是超過30億新台幣的價值,不好好利用它怎麼行,」他笑著說。

王英朗再用一個例子證明導入EUV對於先進製程技術發展的幫助。

他說,就目前最先進的的晶片裡面,相同尺寸的電晶體數量從過去的1億顆,大幅增長到100億顆,都是因為有了EUV技術的協助,才能讓相同尺寸的晶片能置入更多的電晶體、提升晶片的效能表現,「你看智慧型手機做的事情更多了,但是它的續航力是不是沒有退步,」王英朗說到,而這就是先進製程製所造出的晶片功勞。

10年磨一劍,台積成首位導入EUV製程量產關鍵

而當全球採用EUV機器的客戶都是向艾司摩爾進行技術學習時,為何卻在各自表現上造成極大的差異表現?對此,王英朗語帶保留的表示這就是台積電在奈米製程能領先的「商業機密」。

陳文光表示,落腳台南設立培訓中心不僅讓ASML在台營運跟服務項目更加多樣,也能全力支持客戶在先進製程開發與量產。
簡永昌攝影

但側面了解,2010年艾司摩爾就交予台積電第一台原型機進行研發工作後,便開啟了全球微影技術的新紀元。對於台積電跟艾司摩爾兩個合作夥伴來說,這近10年的研發過程可說是教學相長,台積電透過比競爭對手更長的時間摸索跟了解EUV機台特性,利用研發上的各種問題跟挑戰進行擊破,並在2017年ASML交付第一台量產型EUV機器予台積電後、加速發展,這也是為什麼台積電能在2019年領先對手量產、率先端出導入EUV製程的7奈米強效版(N7+)的關鍵。

孕育每年360位工程師,加持客戶製程發展

目前該中心共配置14位講師,每年可以提供數千小時的課程,能夠為ASML以及客戶培育出360位EUV技術工程師。

但講師也透露,360位EUV技術工程師是培訓中心可承受的最大數量,也需要依照訓練結果進行測驗,最終能獲取合格資格的可能將不足360位;另外,EUV機器因為相當龐大,高3公尺、寬10公尺,內部規劃也相對複雜,總共有10萬個零組件,因此訓練課程可以分為5大類型,學員將依照自己的專長進行單一類別的訓練,成為EUV機台個別部分的專業技術工程師。

培訓中心將EUV機台拆分成5大類型,學員透過講師的教學進行訓練,預計每年可提供數千小時的課程,孕育出360位EUV技術工程師。
簡永昌攝影

而今年因為疫情的關係,除了艾司摩爾內部的訓練需求外,台灣客戶將可享有大部分的資源,但未來這座EUV訓練培訓中心將會接納全球客戶的需求,並依據區域進行比例的分配,屆時台灣能有多少的資源都是未知數。

在先進製程邁入越來越小的這個時代,EUV成了當前重要的解決方式,面對如火如荼的3奈米、2奈米先進製程開發的台積電,這個緊密合作夥伴艾司摩爾來台設立EUV技術培訓中心,對台積電來說無疑是在製程發展上注入一劑強心針,也誠如王英朗在致詞時所言:「希望能繼續用更好的半導體表現來改善人類的生活。」

責任編輯:蕭閔云

延伸閱讀

每日精選科技圈重要消息