半導體微影技術供應商艾司摩爾（ASML）斥資1,350萬歐元（約新台幣4.7億元）打造、佔地近500坪的EUV（極紫外光）全球技術培訓中心，正式落腳台南科學園區，並於本月20日正式開幕。
艾司摩爾可能不是那麼耳熟能詳，但談起「台灣之光」台積電之所以能成功量產7奈米強效版：N7+的關鍵，就是因為成功導入EUV技術所致，而目前全球能提供該技術的廠商，只有艾司摩爾，且2019年艾司摩爾全年出貨量為26台，其中有近20台都交予台積電。
台灣作為全球採用EUV技術最大的市場、EUV裝機規模領先全球，艾司摩爾全球副總裁暨台灣區總經理陳文光就表示，艾司摩爾落腳台南設立培訓中心，不僅能孕育技術所需人才，也將能提供重要客戶台積電完整的服務，同時實現扮演支援客戶先進製程開發與量產的角色。
台積電讚許：是EUV讓晶片能大幅進步
「因為有了它（EUV機器），才能讓晶片有長足的進步，」台積電晶圓廠營運副總經理王英朗在上台致詞時這樣大力的稱讚。
他進一步說明，過去台積電也曾希望艾司摩爾能來台南設立培訓中心，如此，就不需要每年派人遠赴荷蘭，「而且名額也不多，」王英朗透露；如今在台南就能獲得完整的訓練，他也表示這對於台積電未來在先進製程的發展肯定有幫助，「更何況這一台機器可是超過30億新台幣的價值，不好好利用它怎麼行，」他笑著說。
王英朗再用一個例子證明導入EUV對於先進製程技術發展的幫助。
他說，就目前最先進的的晶片裡面，相同尺寸的電晶體數量從過去的1億顆，大幅增長到100億顆，都是因為有了EUV技術的協助，才能讓相同尺寸的晶片能置入更多的電晶體、提升晶片的效能表現，「你看智慧型手機做的事情更多了，但是它的續航力是不是沒有退步，」王英朗說到，而這就是先進製程製所造出的晶片功勞。
10年磨一劍，台積成首位導入EUV製程量產關鍵
而當全球採用EUV機器的客戶都是向艾司摩爾進行技術學習時，為何卻在各自表現上造成極大的差異表現？對此，王英朗語帶保留的表示這就是台積電在奈米製程能領先的「商業機密」。
但側面了解，2010年艾司摩爾就交予台積電第一台原型機進行研發工作後，便開啟了全球微影技術的新紀元。對於台積電跟艾司摩爾兩個合作夥伴來說，這近10年的研發過程可說是教學相長，台積電透過比競爭對手更長的時間摸索跟了解EUV機台特性，利用研發上的各種問題跟挑戰進行擊破，並在2017年ASML交付第一台量產型EUV機器予台積電後、加速發展，這也是為什麼台積電能在2019年領先對手量產、率先端出導入EUV製程的7奈米強效版（N7+）的關鍵。
孕育每年360位工程師，加持客戶製程發展
目前該中心共配置14位講師，每年可以提供數千小時的課程，能夠為ASML以及客戶培育出360位EUV技術工程師。
但講師也透露，360位EUV技術工程師是培訓中心可承受的最大數量，也需要依照訓練結果進行測驗，最終能獲取合格資格的可能將不足360位；另外，EUV機器因為相當龐大，高3公尺、寬10公尺，內部規劃也相對複雜，總共有10萬個零組件，因此訓練課程可以分為5大類型，學員將依照自己的專長進行單一類別的訓練，成為EUV機台個別部分的專業技術工程師。
而今年因為疫情的關係，除了艾司摩爾內部的訓練需求外，台灣客戶將可享有大部分的資源，但未來這座EUV訓練培訓中心將會接納全球客戶的需求，並依據區域進行比例的分配，屆時台灣能有多少的資源都是未知數。
在先進製程邁入越來越小的這個時代，EUV成了當前重要的解決方式，面對如火如荼的3奈米、2奈米先進製程開發的台積電，這個緊密合作夥伴艾司摩爾來台設立EUV技術培訓中心，對台積電來說無疑是在製程發展上注入一劑強心針，也誠如王英朗在致詞時所言：「希望能繼續用更好的半導體表現來改善人類的生活。」
責任編輯：蕭閔云
