「台積電的設備工程師，不是像很多人傳言那樣，只要坐在那操作機台就好。」一名台積電主管如此表示。
不是只會操作軟體！台積工程師也能切入創新研發
成立至今已35年的台積電，在掌握著先進製程技術的情況下，不再只是被動地等待設備商推出新產品，而是從先進製程需求端往回推，讓站在第一線使用設備的工程師們提出希望解決的問題，成立專案後再回去與供應商協作開發，不斷精進半導體設備，讓先進製程的發展更順利。
換句話說，如今台積電已站在世界最前端，與過去「看別人做」的模式大不相同，而是轉變為「告訴別人怎麼做」的先驅企業。這也意味著無論是在設備、材料還是人才培育等方面，都需要不斷創新，找出屬於台積電的方式。
該名高階主管也進一步指出，台積電的設備工程師，其實做了很多專案，希望能優化當前機台設備，促進良率及產量，但外界大多不清楚，以為設備工程師只需操作機台。他也表示：「設備其實是會影響到先進製程的開發。」
為了鼓勵更多設備工程師投入這項活動，台積電已於內部舉辦10屆的「台積設備博覽會」，而在今年第11屆的參賽廠區共涵蓋海內外共17座，從231件作品中挑出70件展示，於今（15日）在中科的Fab15A廠區展出。台積電表示，本屆主題圍繞在工廠如何運用AI、自動化和影像識別等技術提升品質。
讓設備工程師一展身手！台積設備博覽會登場
台積電也表示，這些展出的設備，基本上都已經通過自己廠區的概念性驗證，離真正落地都不遠。《數位時代》也將帶讀者直擊數項有趣更新，看看台積電的設備工程師，都優化了哪些製程呢？
首先，由於台積電中科的15A、15B廠區，分別在山上及山下，因此並未設有連接廠與廠之間的「空橋」，用以運送晶圓桶，在平均每桶晶圓需要經過七次的搬運的情況下，相當的耗時費力。因此，有團隊就結合了自動手機器手臂和運送車，並以系統化的方式整合。
負責解說的台積電員工表示，這項發想不僅讓整輛運送車自動開關和搬運，還能監測乘載晶圓容器的溫度和濕度，確保晶圓狀態，還會在車頂的電子紙上，自動記載相關資訊，讓整個運送流程不需要人力，又可確保晶圓品質。
其次，是蝕刻設備的電漿全自動清潔及AI影像辨識機器人，由於在每次蝕刻過後機台上會有殘留物，為省下成本廠區多是用手刷洗，不僅速度慢也耗時。經過改良研發，新型機台將透過電漿通高壓的原理，產生氣體帶走附著物，同時配有AI辨識機器人，自動感測附著物是否都已經清理乾淨。
最後，是幫晶圓廠內部天花板上的晶圓運送車做檢查的自動健檢站，希望能解決設備增加但人手不足的痛點。台積電表示，共有五座健檢站，一站耗時約一分鐘，等於確認每輛車的狀態只需五分鐘，項目包含皮帶、機台損壞等等。一名台積電員工表示：「這讓運送車的保養，從一年一次變成一週一次，」大大加強了保養效率。
責任編輯：錢玉紘
