美國科技媒體《The Information》7 月 27 日引述匿名知情人士報導,一家未被點名的上海國資背景企業據報已開始製造浸潤式深紫外光(DUV)曝光機,進入有限度的初期生產,首批機台預計今年內交付中芯國際、華虹半導體與長鑫存儲(CXMT)。
報導發布後,原本在盤中上漲的荷蘭微影設備龍頭艾司摩爾(ASML)出現賣壓,股價一度重挫 8.3%、跌至 6 月初以來低點,跌勢隔日更蔓延到東京,尼康(Nikon)、佳能(Canon)與 Lasertec 同步走跌。
今年 5 台、明年 20 台,首批交付中芯、華虹、長鑫
《The Information》並未點名這家公司,僅指出它集結了多家中國企業的研發團隊,其中包括國資新創上海宇量昇科技(Shanghai Yuliangsheng Technology)。據《Tom's Hardware》整理,中芯國際自 2025 年 9 月起已在測試宇量昇的浸潤式 DUV 機台。
依報導規畫,這家公司 2026 年目標生產約 5 台 DUV 曝光機、2027 年提高到約 20 台,生產進度仍屬早期。機台多數零件已國產化,但部分關鍵零件仍來自日本,加上本土供應商交期延誤,拖累今年出貨進度。《路透》轉述指出,這套系統的效能與可靠度仍落後,須經進一步測試才能進入成熟量產。
DUV曝光機負責把電路圖案「印」上晶圓,被稱為半導體業的主力機台。據報導,這批中國國產浸潤式 DUV 設備鎖定 28 奈米級製程;多重圖形化理論上可延伸至更先進節點,但疊對精度、產能與良率仍待實際產線驗證。
跌勢從阿姆斯特丹一路蔓延到東京
ASML 拒絕對報導置評。不過投資人對任何威脅 ASML 壟斷地位的訊號都高度敏感:7 月 27 日 ASML 股價一度下殺 8.3%,同業 ASM International 一度跌 7.3%、BE Semiconductor 跌 9.9%,美國設備商應用材料(Applied Materials)與科林研發(Lam Research)也分別跌 6.7% 與 7.9%。
7 月 28 日輪到東京股市:同樣生產浸潤式 DUV 的尼康一度重挫 9.2%、生產成熟製程設備的佳能跌 6.3%,雙雙寫下兩個多月來最大盤中跌幅;日本半導體檢測設備商 Lasertec 跌幅一度達 12%。
一家沒被點名的公司,為何嚇壞市場?
ASML 幾乎壟斷這門生意。研究機構 AI Futures Project 6 月的分析援引 TechInsights 2024 年資料指出,ASML 當年占全球浸潤式 DUV 市場 98.7%。
中國市場方面,ASML 財務長 Roger Dassen 在 7 月法說會上預估,中國業務約占 2026 年總淨銷售 20%,低於 2025 年的 29.1%(依 ASML 2025 年年報,中國客戶占全年總淨銷售比重)。若按 2026 年第二季系統銷售出貨地計算,中國占 14%,位居南韓(43%)與台灣(30%)之後。
疊加政策變數,市場的緊張就不難理解。在美國主導的出口管制下,ASML 最先進的極紫外光(EUV)機台禁售中國,最先進的 DUV 機種也在限制之列。
ASML 執行長 Christophe Fouquet 先前表示,目前可銷往中國的較低階 DUV 設備採用約 2015 年推出的技術,約落後先進晶片製程八個世代。
美國國會審議中的 MATCH 法案(H.R. 8170)則點名中芯國際、華虹、長鑫存儲、華為與長江存儲,擬要求業者對這些晶圓廠出售或維修特定設備前,須先取得許可;該法案 4 月 22 日經眾議院外交委員會表決送出,截至 7 月 28 日尚未完成立法。
若法案後續通過並落實,相關晶圓廠取得設備維修與技術服務的門檻可能提高。而國產機台的首批三家客戶(中芯、華虹、長鑫),正好都在這份名單上。
短期內,ASML 的地位仍難被撼動。新機台導入產線的認證動輒數月,效能與可靠度仍落後 ASML;AI Futures Project 的基準推估顯示,中國可支援 7 奈米製程的國產浸潤式 DUV,可能要到 2030 年代中期才進入大規模商業應用。
至於中國國產 EUV,《路透》2025 年 12 月報導的是一台在 2025 年初完成、仍在測試中、尚未能產出可用晶片的原型機,距離商用更遠。
Dassen 並在法說會上表示,2026 年浸潤式機台出貨量約 130 台、與 2025 年持平,並計畫 2027 年將浸潤式產能再擴增 30%。
資料來源:《彭博》、《路透》、《Tom's Hardware》、《中央社》、ASML 2026 年第二季財報、ASML 2025 年年報、AI Futures Project 分析、《Yahoo Finance》、美國國會 H.R. 8170 法案、《TechPowerUp》
本文初稿為AI編撰,整理.編輯/ 李先泰
