迎戰先進製程EUV強大需求!半導體國家隊家登備好產能,預計營收表現上看6成

2021.01.27 by
簡永昌
迎戰先進製程EUV強大需求!半導體國家隊家登備好產能,預計營收表現上看6成
ASML
隨著先進製程的逐步推進,不只是對於EUV技術有更多的依賴,對於提供光罩盒的供應商家登也是一大利多。近期不只是擴廠、買地,邱銘乾也表示今年整體營運樂觀。

作為護國神山台積電先進製程供應鏈的重要一環,家登主要產品有光罩傳載類、晶圓傳載類、機台設備類,並以EUV光罩盒的技術,成為了半導體國家隊的一員。目前扎根台南科技園區,樹谷廠也已擴廠完畢,將能提供比2020年更多產能,同時為滿足客戶需求,也斥資4.8億元新台幣於土城購地,預計將於農曆年後動工。

董事長邱銘乾表示,目前家登除了先進製程的EUV載具產能可滿足全球先進製程客戶的需求外,DUV供貨亦沒有問題;加上成功切入中國市場八吋及十二吋市場,且鑒於目前中國八吋廠光罩及晶圓載具(Wafer Pod/Cassette)需求強勁,中國半導體客戶訂單能見度可以到今年第二季。整體而言2021年度EUV、DUV、晶圓載具三箭齊發,第一季訂單能見度佳,「我們樂觀看到今年的整體營運,」邱銘乾說。

董事長邱銘乾(左)表示,整體而言2021年度EUV、DUV、晶圓載具三箭齊發,第一季訂單能見度佳,對家登全年的展望也相當樂觀。
簡永昌攝影

回憶起20多年前來到台南發展的背景,邱銘乾笑說那時的南科都還是甘蔗田,雖然生活機能上相對不方便,但這正是他認為相比竹科、中科,南科未來的發展還有很大機會的主因;「感謝當時台南市長賴清德的遠見,」邱銘乾有感而發的說,因為現在家登立足的這塊土地,過去曾是另一個大型企業物色的目標,有賴於賴清德的的幫忙,才讓家登能在這邊發展技術,從做傳統模具切入到半導體供應鏈,「也要感謝台積電成為全球半導體代工的龍頭,才能讓家登成為其中的一個小螺絲釘,」他說。

EUV光罩盒今年有望業績佔營收6成

目前家登的主要業務包括光罩傳載、晶圓傳載、機台設備以及其他相關的服務,而EUV的業務在2020年的表現佔整體營收約一半左右,預計今年的表現將能上看6成,主要還是拜全球半導體大廠在先進製程技術上的推進所賜;至於傳輸盒的部分,目前月產能則可上看8,000-10,000顆左右。

就以打進全球唯一能製造EUV機台的艾司摩爾(ASML)的EUV光罩盒來看,根據艾司摩爾的表示,到去年年底已經出貨了100台的EUV(極紫外光)機台,而今年出貨數至少達40台,更是推動全球三大半導體廠的Wafer(晶圓)出片量。

根據艾司摩爾的統計,2020年底已經出貨了100台的EUV(極紫外光)機台,而今年出貨數至少達40台,顯示市場對於先進製程的需求依舊火熱。
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家登的EUV光罩盒之所以有其重要性,除了是市場上競爭對手僅英特格外,也因為到了先進製程後需採用EUV技術,而EUV的波長太短,現無光學材料可以折射EUV,因此光學系統設計就必須以反射式進行,包括光罩本身也是反射式。

製程越先進,對光罩盒需求也將更多

光罩基材必須是超低熱膨脹係數材料,並且光罩表面平坦度(Ra)必須小於5個奈米(<5nm),由於光罩材料和製作是屬於高難度,所以估計一片量產的EUV光罩至少15萬美元(約合新台幣450萬元)起跳。由於EUV光罩屬高單價產品,且無法貼上傳統的保護膜(Pellicle)來防止微粒的污染,因此一定要透過特殊設計的光罩盒保護。EUVL光罩載具包含內盒和外盒,內盒可以代替光罩保護膜,防止微粒污染。

而家登可以說是台積電光罩盒的主要供應者,近期也積極打入另一個採用EUV技術的半導體業者:三星,若順利打進,對家登的營運來說可算是相當有助益;此外,當先進製程逐步往下走的同時,對於EUV的使用將會越來越多,目前7奈米約是5層(Layer)、5奈米為12-14層,到了3奈米更可能要用到26層左右,使用的頻次增加也會提高對光罩盒的需求量,這也是為什麼家登仍認為單就光罩盒的產能依舊吃緊的緣故。

家登作為台積電EUV機台中光罩盒的重要供應商,當先進製程越往下走、對於EUV技術的使用將越頻繁,隨之而來的是對於光罩盒的需求也會增加。
台積電

另外,光罩盒對於晶圓廠來說也是另一種消耗品,預計每2-3年都需要進行汰換,從2018年全球首個導入EUV製程的台積電N7+開始,在接續的製程都須仰賴EUV情況下,勢必也是另一個對光罩盒產生大量需求的來源。

邱銘乾也分享了他對於近期很夯的車用半導體看法。他觀察到車用的需求在去年經歷了一段時間的調整,今年需求不僅逐步回溫、復甦,也因為電動車等多元的應用情況下,未來一台車可能就要用到一片8吋晶圓的量。看來8吋產能吃緊可能還需要好一陣子才能緩解。

責任編輯:蕭閔云

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