極紫外光（EUV）微影是推動先進製程的靈魂技術，為了不落人後，包含台積電、英特爾、三星、SK海力士等業者皆已部署相關產線，而能夠供應EUV設備的業者非艾司摩爾（ASML）莫屬，同時，全球唯二經過ASML認證的EUV光罩盒的供應商，其中一家就是總部坐落在土城的家登精密。
在歲末年終之際，家登精密舉辦媒體餐敘，活動中董事長邱銘乾表示，該公司在EUV光罩盒以搶下七成佔率，下一步將力推前開式晶圓傳送盒（FOUP）技術，目前已獲得晶圓代工龍頭的青睞，預計有望2022年第一季量產。
邱銘乾透露，其實FOUP業務在2021年就取得中國晶圓代工和兩岸封測廠的訂單，營收金額已超過4億元，目前在台灣晶圓代工市場尚未出貨，預期在明年量產後將進一步帶來更好的營收表現。
另一方面，邱銘乾指出，接下來3奈米將成為先進製程的主力節點，對於EUV光罩盒的需求只會有增無減，將為家登精密帶來更高的成長動能；舉例來說，家登精密子公司家登自動化就順勢在今年取得56億元的成績，預期明年將有3040%的成長。
說起家登精密是一家非常有趣的公司，過去曾與另一家供應EUV光罩業者英特格進行專利訴訟之戰，當時在英特格的窮追猛打下，曾一度無法存活，所幸在各界幫忙與台積電以抵押廠房、專利等不同形式的資金協助，轉而其死回生。
不過這個EUV光罩盒煙硝戰並非止步於此，就在11月底，家登精密反控告美商英特格（Entegris）侵害其EUV光罩盒與FOUP的專利，並求償新台幣 1 億元。
提早佈局專利陷阱，盼能成為晶圓傳載的ASML
「這個陷阱我們布局很久了！」家登精密先進載具客戶技術服務處協理莊家和說道。關於這項專利，先前在客戶提出需求時，就知道這是生產過程必須的存在，「因此我們老早就申請專利，等英特格踏入陷阱」。
不過，對於這項專利家登精密並非是希望透過授權獲取營收，而是希望與英特格採交叉授權的方式進行結案。
莊家和認為，無論是EUV光罩盒或FOUP都已經從技術戰爭轉移到商戰。目前全球能提供EUV光罩盒的兩家公司僅有家登精密和英特格，其中家登精密占有七成的市佔率。
至於12吋FOUP部分，莊家和不諱言，台灣目前主要供應商為日本的信越和英特格兩家。他指出，晶圓盒市場在剛進入商轉時，一個FOUP的價格曾高達10多萬元，至今已剩下1萬多元，價格差異甚大。
即便如此，家登精密仍願意踏入這塊市場，主要是看中其背後帶來的影響力。未來若晶圓代工龍頭採用家登精密12吋FOUP，將為其豎立品質標竿，即便有可能將毛利率拉低，後續對產業的影響力值得期待。
現今在拚高階FOUP與EUV光罩盒的廠商僅剩家登與英特格。莊家和表示，對英特格來說，該領域的毛利率已經逐漸下滑，如未來有機會售出這塊供應鏈，並由家登精密買下，預期未來家登精密將有望成為「晶圓傳載方案的ASML」，掌握獨家話語權。
責任編輯：錢玉紘
