法國工業氣體供應商液空集團（Air Liquide）25日在台中啟用首座先進材料生產基地，主攻沉積與蝕刻用分子材料，支援奈米級製程需求。液空表示，這些材料對於推動AI與HPC（高效能運算）的次世代晶片而言至關重要。
液空集團進入台灣市場已近40年，自2019年以來，在台投資已超過10億歐元（約新台幣370億元）；與台灣客戶互動密切，目前在沉積材料領域的市占率約為30%。法國在台協會主任龍燁（Franck Paris）指出，液空於1987年進入台灣，與台積電創立同一年，「陪伴台灣走過半導體產業的各個里程碑」。
台中新廠為液空集團全球第11座先進材料廠。該集團目前已擁有54座專門服務半導體客戶的設施；而本次落成的廠房，是液空集團在台灣首座大規模生產先進沉積與蝕刻材料的基地。台積電處長代表到場參與落成典禮，並有協助廠務建置的帆宣系統與三菱等合作夥伴出席。
液空集團生產什麼？為什麼要在台中設立先進材料廠房？
液空在台灣的服務，涵蓋超高純度工業氣體、電子級材料、供應系統以及分析服務。此次在台中設立的先進材料廠，主要生產用於半導體製程中的「沉積與蝕刻材料」，特別是固態與液態前驅物的純化與處理，應用於原子層沉積（ALD）等先進製程。
「身處先進半導體生態系的核心，深耕台灣這個技術重鎮，可以確保客戶要求的安全性與速度。」液空集團創新與科技副總裁Armelle Levieux表示。液空原本在台中即有營運據點，但過去缺乏一座專門對應「先進材料」的大規模生產基地，隨著客戶對材料純度與供應穩定性的要求提升，加上先進製程導入速度加快，設立在地化生產基地成為必要。
液空指出，晶圓廠客戶傾向供應商越靠近越好，能降低運輸風險、縮短交期，同時強化即時協作能力。另一方面，在地設廠也有助於供應鏈多元化，降低單一來源風險，這在地緣政治與產業波動加劇的背景下尤其重要。
隨著製程持續微縮，半導體產業所需材料需求升級為「先進材料」，關鍵差異在於對純度與物化特性的要求大幅提升。Levieux指出，早期多採用液態前驅物，因為輸送與操作較為簡便；但隨製程演進，固態前驅物逐漸成為主流，雖然操作難度更高，卻能提供更精準的反應控制與材料特性。液空強調，其在固態材料處理與純化技術上具備能力，是支撐先進製程的重要關鍵。
台中廠有哪些設施？產能與進度如何？
台中廠目前以固態與液態前驅物的純化為主，廠房內包含鋼瓶清洗系統（鋼瓶可重複利用）、純化設備與品管實驗室等設施。目前整體空間使用率約三成，保留後續擴產彈性。
ALAM Taiwan總經理Camille Janer表示，液空於2024年底取得廠房，並在2025年完成設計與建造，同時已交付首批固態前驅物。現階段仍處於導入初期，尚未正式放量，接下來將進行小批量生產，配合客戶驗證流程，待通過認證並取得訂單後，才會進入正式量產階段。
在供應模式上，液空採取「在地生產、全球支援」策略。Levieux指出，除了服務台灣客戶外，液空也能同時支援亞洲其他地區、美國與歐洲市場，「不管客戶在哪個角落，我們都能提供服務」，強調其全球布局與在地據點並行的供應能力。
材料供應的未來挑戰
在先進製程對材料依賴加深的同時，供應鏈穩定性也成為關鍵變數。以氦氣為例，目前全球約三分之一供應來自卡達，近期已因地緣政治與戰爭因素出現短缺情況。液空表示，面對此類風險，已建立多元備援機制，包括德國設有氦氣儲存設施等，分散供應來源的不確定性。
目前液空已在日本、韓國、新加坡、美國多個州及法國設有先進材料中心，顯示其正透過全球據點分散風險，同時貼近各地半導體客戶需求。未來也將更強化供應鏈多元化與在地生產布局，以降低單一地區或單一來源的依賴。
