台積電想買High-NA EUV了?新一代EUV強在哪?為何英特爾、三星都想要?
台積電想買High-NA EUV了?新一代EUV強在哪?為何英特爾、三星都想要?

台積電先前曾表示,艾司摩爾(ASML)的高數值孔徑極紫外光機台(High-NA EUV)太貴,2026年前使用經濟效益不大,但日前卻傳出台積電總裁魏哲家密訪ASML總部,引起市場猜測台積電回心轉意,恐藉由購買High-NA EUV,來確保全球半導體的主導地位。

台積電想買High-NA EUV了嗎?為2奈米製程布局?

據韓國媒體《BusinessKorea》報導,台積電總裁魏哲家先前缺席「2024年技術論壇」台灣場,原因在於他飛往荷蘭與ASML討論設備事宜,為接下來的2奈米製程競爭提前布局。

據了解,魏哲家除了拜訪位於荷蘭的ASML總部,也拜訪了德國工業雷射大廠「創浦」(TRUMPF)。業界人士分析,隨著曝光設備在7奈米以下先進製程的重要性增加,台積電似乎加入了「搶奪先進設備」的競賽。

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外媒揭露,台積電董事長魏哲家日前密訪ASML總部。
圖/ 台積電

台積電日前表示,預定2026年稍晚量產的A16先進製程節點,未必要使用ASML的High NA EUV,可繼續仰賴台積電已有的舊款EUV設備,「我們現有的EUV能力應該有辦法支援。」

換言之,台積電原打算2026年下半量產1.6奈米製程後,再導入High-NA EUV,其設備報價高達3.8億美元,換算新台幣約為123億元,較EUV高出逾一倍。

外媒報導,台積電的競爭對手英特爾,想藉由High-NA EUV達到領先優勢。 據悉,目前最先出貨的幾台High-NA EUV都送往英特爾晶圓代工部門。 英特爾計畫先在1.8奈米試用此設備,之後正式導入於1.4奈米製程。

至於三星電子,會長李在鎔已在4月拜會ASML執行長傅凱(Christophe Fouquet),與蔡司執行長卡爾·蘭普雷希特(Karl Lamprecht),以強化三方的半導體聯盟。當時傳出已達成擴大在EUV技術,以及下一代半導體設備研發方面合作的共識。

High-NA EUV(高數值孔徑極紫外光機台)是什麼?

為何半導體大廠都在搶High-NA EUV機台?要回答這個問題,就得從解析「EUV」開始!

事實上,EUV為「極紫外光」縮寫(Extreme ultraviolet, EUV),它是一道波長小於13.5奈米的光,而使用EUV作為光源的曝光機,就是所謂的EUV曝光機/光刻機。

由於其製程繁複,且關鍵技術由艾司摩爾獨家掌控,導致EUV機台的造價十分昂貴。回首看2021年的出貨數據,艾司摩爾全年僅出貨42台EUV曝光機,可見其稀缺性。

那麼,半導體大廠使用EUV曝光機可以創造何種優勢? 簡單來說,它可以透過波長超小的光來列印微晶片,讓工程師在奈米級、甚或是台積電所謂「埃米級」A16製程中,可以在晶圓上做出電路圖。

下一代EUV之戰!為何英特爾、三星都要搶High-NA EUV機台?

簡略解析晶圓製作程序,當工程師規劃好晶圓上各區域的功能後,會將電路圖刻在石英片上面製作成「光罩」,當光束從光罩上方照下來,經過由透鏡組成的光學系統照射到晶圓後,再進行顯影、蝕刻和清洗等程序,就可以將電路圖從光罩轉移到晶圓上。

以上程序中的關鍵,即那道微影「光束」,就是EUV曝光機的價值所在,有了這門技術,我們日常生活中使用的3C裝置,例如智慧型手機、智慧型手錶,甚至是遊戲機,才能以更小的晶片、更強悍的性能,為人類的生活服務。

具體來說,現階段High-NA EUV機台將數值孔徑從0.33 增加至0.55(例如TWINSCAN EXE: 5000),更具高解析度圖像化能力,能夠使精準度提高、成像更加清晰且,每小時可列印超過 185個晶圓,將大大提高先進製成的產能。

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ASML最新的High-NA EUV機台為「TWINSCAN NXE:3800E」,可支援幾年內3奈米及2奈米晶片製造。
圖/ ASML

參考資料:ASML官網科技魅癮國家實驗研究院

延伸閱讀:如果中國打來,ASML及台積電能遠端癱瘓EUV!EUV是什麼?一文看台灣半導體戰略價值

責任編輯:李先泰

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資安齊發!合勤集團三品牌同台,展現整合防禦實力
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資安已成企業營運的基本保障,合勤集團整合旗下兆勤科技、黑貓資訊與勤晁科技,打造從基礎設施到智慧防護的完整資安體系,助企業穩健邁向AI新時代。

隨著企業加速推動數位轉型、駭客持續進化攻擊手法,資安早已不是可有可無的保險,而是企業日常營運的「剛性需求」。看準資安市場商機,合勤集團(Zyxel Group)近年來積極透過旗下3家子公司—兆勤科技、黑貓資訊與勤晁科技佈局資安防線。在日前登場的CYBERSEC 2025台灣資安大會上,更以「資安特勤,偕同出擊」為主題,展示一個涵蓋AI 驅動的雲地整合防禦、智慧資安維運服務到高規格跨域網路安全與加解密的完整防禦體系,不僅吸引大批與會者駐足,成為展場人氣最旺的攤位之一,更充分展現合勤集團在資安領域的強勁實力與市場吸引力。

兆勤科技祭出雙軌策略,助攻中小企業資安升級

根據統計,2024年的目標式勒索資安事件,高達90%是以中小企業為攻擊目標,顯見,資安防護不再是大型企業才需要關注的課題,中小企業的資安需求同樣迫切且不容忽視。

「然而,中小企業因為缺乏資安專業人才及預算有限,不易做好資安管理,再加上近年來網路攻擊手法多變且複雜,更加深應對威脅的難度,」兆勤科技總經理蔡明見一語道出中小企業的資安挑戰。為此,兆勤科技祭出「簡化管理、強化服務能量」的雙軌策略,持續精進雲端網路安全解決方案,讓中小企業能夠以最少資源完成資安佈署工作。

在簡化管理上,兆勤科技以Nebula雲端管理平台為核心,透過以下3大機制,達到簡化管理負擔的目標。首先,在Nebula平台導入雲地共融技術,讓雲地兩端的安全策略及網路設定可以同步,突破傳統網路設備管理模式只能本地或雲端二選一的限制,也為企業網路管理提供更多彈性,企業可以先採用本地管理,待習慣雲端操作時,再一鍵轉移到雲端,無需重新配置、也不需更換設備,大幅降低轉型門檻,打造跨平台的一致性防護。

合勤科技
兆勤科技總經理蔡明見
圖/ 數位時代

其次,Nebula平台除了可以集中管理防火牆、交換器、無線AP等各個網路設備,設定介面亦相當簡單好操作,透過各種方式例如:事先預設基礎設定、掃描條碼即可將設備加入網路等,讓使用者即便不是專業IT人員,可以輕鬆完成設定、掌握整體網路狀態,大幅降低學習門檻與提高管理效率。

第三、Nebula平台可以自動接收韌體更新與漏洞修補程式,避免因人力不足而忽略系統維護與更新的風險。

在強化服務能量上,兆勤科技積極輔導經銷或通路夥伴建立服務能量,滿足中小企業對網路代管服務的需求。「這是能為中小企業、夥伴與兆勤創造3贏的做法,」蔡明見說明,藉由Nebula平台可以遠端管理的特性,使經銷或通路夥伴能夠一次管理上百個客戶的網路設備,並以訂閱制收取服務費用,成功由傳統硬體銷售轉型為網路代管服務提供者,同時也讓中小企業得以使用網路代管服務,近來,兆勤更推出pay-as-you-go金流方案,協助夥伴降低資金壓力,加速拓展服務市場。

黑貓資訊破除IT與資安斷層,強化內部防禦

合勤集團旗下專注於資安顧問及託管服務的黑貓資訊,自2017年由合勤投控公司資安部門分拆出來後,便聚焦在解決企業 IT 與資安協同作業的挑戰。「企業內網管理的盲點有很多,但IT與資安的協作斷層,是目前最常見也最迫切要解決的問題,」黑貓資訊總經理游政卿說。

IT與資安雖然密不可分,但實務上,企業通常將IT與資安劃分成2個團隊,且彼此的工作重點也不相同,IT 團隊專注資源調度、確保系統穩定與效能,資安團隊則忙於應對警報和威脅,這種分工模式不只讓攻擊者有機可乘,更會令IT團隊誤以為資安只會加重工作負擔。

合勤科技
黑貓資訊總經理游政卿
圖/ 數位時代

「資安的價值,應該從協助IT部門解決問題開始,而不是增加負擔。」游政卿強調,因此,資安團隊首先要做的就是「與IT同在」,從理解IT團隊的需求、解決痛點到取得信任,雙方才能進一步協作,共同應對日益複雜的網路威脅。

以IT資產盤點為例,這是IT團隊相當重要又很耗時費力的工作,而資安團隊可以透過端點安全解決方案(EDR)進行資產盤點,先協助IT團隊掌握所有終端設備的型號、使用狀況與更新需求,再延伸到端點安全防護議題,如此不僅減輕IT負擔,也讓資安建置更具體有感。

除了IT與資安的協作斷層外,包括資產與風險能見度不足、過度依賴邊界防禦,忽略內部橫向移動的風險、以傳統基於特徵碼的靜態防禦機制為主,無法有效應對快速變化的動態威脅、對於第三方軟硬體與的安全把關不足等,亦是企業內網管理常見的盲點。

對此,黑貓資訊憑藉深厚技術底蘊,自主研發多元資安解決方案與服務。在解決方案端,推出在如同樂隊指揮家的智慧XDR防護平台,可協調整合多源資安日誌,並結合AI技術大幅提昇威脅偵測的精準度,亦有可部署於地端(On-premise)的SIEM 解決方案,滿足企業對資料落地、合規與客製化的需求。在服務端,不僅提供24 X7全年無休的MDR/SIEM/SOC 託管式監控服務,更同步提供滲透測試、弱點掃描、供應鏈風險檢測等服務。

值得一提的是,黑貓資訊目前正積極申請ISO 17025資通安全檢測實驗室認證,導入NIST SP 800-115測試流程,協助企業確保所導入的資安方案具備可驗證性與國際標準接軌能力。

在數位轉型成為企業生存關鍵的當下,資安已成為業務穩定與品牌信任的保證。合勤集團透過兆勤科技的雲地整合資安服務、黑貓資訊的智慧防護與專業服務,以及勤晁科技的高規安全方案「偕同出擊」,建構出一條完整而具彈性的資安防線,讓不同需求的客戶都能享有最合適與全面的資安保障,更有信心邁向AI新時代。

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