美國為了遏止中國晶圓廠跨入高階製程，全力阻斷高階製程設備輸出到中國。具體地說，管制16/14奈米（含）以下邏輯晶片的設備，以及DRAM在18奈米（含）及以下的設備，NAND快閃記憶體128層（含）以上的製程設備，這些高階設備皆須需取得美國商務部核准，方可出口到中國。
這些嚴格的管制措施，不僅針對美國半導體設備生產商，同時也要求荷蘭、日本等國半導體設備生產商，共同遵守。
除了管制先進製程設備外，「成熟製程」的設備仍可對中國輸出。中國為了厚植半導體產業的製造能力，一方面 積極增建晶圓廠 ，一方面 發展自己半導體產業的生態系，其中自製半導體製程設備是重中之重 。
中國積極布局半導體產業生態系
根據國際半導體產業協會（SEMI）統計，2023年中國是全球半導體設備的最大市場，2023年中國半導體設備的銷售金額高達366億美元，較2022年增加29%。
第二名是韓國，2023年韓國半導體設備的銷售金額達199億美元，較2022年減少7%。台灣在歷經2019～2022年四年的成長後，2023年半導體設備的銷售金額達196億美元，較2022年減少27%，居全球第三。
中國2020年半導體製造設備的銷售金額達187.2億美元，2021年半導體製造設備的銷售金額達296.2億美元，2022年半導體製造設備的銷售金額達282.7億美元，2023年半導體設備的銷售金額高達366億美元。這4年來除了2022年小幅衰退外，每年皆大幅成長，顯示中國積極蓋晶圓廠建立產能。
2023年到2027年間，中國將有41座晶圓廠投產，其中12吋廠有34座，8吋廠有7座，規模宏大。無怪乎美國、歐盟開始擔憂中國成熟製程產能過剩，將造成市場供過於求的擔憂。
面對美國對中國半導體產業的強力管制，中國積極建立自己的半導體產業生態體系，製程設備的自製率成為重要的觀察指標。
全球半導體設備廠商排名Top 5
先從全球市場來看，2023年全球半導體設備銷售金額高達1,063億美元，中國市場占34.4%。統計2023年全球半導體設備廠商前五名如下：
第一名是荷蘭的ASML，營業額高達276億歐元 (約299億美元)，年成長率高達30%。ASML的微影機獨霸全球，尤其是EUV（極紫外光）微影機是全球唯一的供應商，高階DUV（深紫外光）微影機，ASML幾乎獨占市場。
美國管制EUV以及高階DUV出口到中國，掐住中國發展先進製程的「任督二脈」，中國自製高階微影機，成為最重要的目標。
排名第二的是美國的應用材料（AMAT），2023會計年度營業額達265.2億美元，年成長率達2%。應用材料主要的產品為CVD、PVD等薄膜沉積設備、離子注入、蝕刻、快速熱處理、化學機械研磨（CMP）等設備。
全球第三大半導體設備公司為科林（Lam Research），2023年營業額約174.3億美元，年成長率1.16%。科林主要產品為刻蝕設備、薄膜沉機設備、去膠及清洗設備、鍍銅設備等。
第四名是日本的東京威力科創（TEL），2023會計年度營業額達1.8305兆日圓（約122億美元），較2022年衰退17.1%，居全球第四。TEL主要產品為塗布/顯像設備、熱處理成膜設備、CVD、刻蝕設備、清洗設備、測試設備等。TEL是全球塗布設備的龍頭。
美國科磊（KLA），2023會計年度營業額為104.96億美元，年成長率13.9%，排名全球第五。科磊主要產品為光學、電子檢測設備、缺陷檢測、CD量測、膜厚量測等設備。
對比之下，我們看看中國2023年前五大半導體設備公司。
北方華創 2023年營業額達人民幣220.79億元（約30.6億美元），年成長率50.3%，為中國營業額最高的半導體設備公司。北方華創主要產品為蝕刻、沉積、清洗等設備。
中微半導體 2023年營業額為人民幣62.6億元(約8.67億美元)，年成長率32.1%，排名第二。中微半導體的主要產品為蝕刻、沉積等設備。中微的電漿蝕刻機從65奈米、14奈米、7奈米到5奈米，已經被一線半導體大廠採用，主要客戶有台積電、SK-海力士、聯電、中芯、長江存儲等。
盛美上海 2023年營業額為人民幣36.5億元（約5.06億美元）～ 42.5億元（約5.89億美元），年成長率27%～45%，排名第三。主要產品為半導體清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管設備及先進封裝濕式設備等。
拓荊科技 2023年營業額為人民幣26億元（約3.6億美元）～28億元（約3.88億美元），年成長率52.4%～64.2%，排名第四。主要產品為PECVD、ALD、SACVD及HDPCVD等設備。
華海青科 2023年營業額為人民幣23億元（約3.19億美元）～27億元（約3.74億美元），年成長率39.5%～63.8%，排名第五。主要產品為CMP設備、减薄設備、清洗設備、供液系統、末後測量設備等。
由此看來，中國半導體設備公司的營業額規模，尚無法與國際大廠比擬。即使產品已可進入最先進製程的中微半導體，2023年營業額僅達應用材料的3.3%左右，由此可見，中國半導體廠仍需大幅依靠國外廠商的設備，「自給自足」之路仍很遙遠。
值得一提的是，上海微電子裝備 公司是中國開發、製造微影機的主要公司，儘管之前不少媒體報導該公司，可望在2022年左右生產28奈米微影機。如果能順利生產，則中國在微影機生產將可邁入新的境界，受制於ASML、Nikon等國外微影機生產商的「管制」將可減輕，發展出自己的系統。
可惜的是，目前尚未看到上海微電子裝備生產的「浸潤式微影機」。不過千萬別低估中國開發出自己高階半導體製程設備的能力，假以時日，中國廠商有可能建立自己的半導體製程設備生態系統，屆時全球半導體市場可能別有一番新的競爭態勢。
（觀點文章呈現多元意見，不代表《數位時代》的立場）
《數位時代》長期徵稿，針對時事科技議題，需要您的獨特觀點，歡迎各類專業人士來稿一起交流。投稿請寄edit@bnext.com.tw，文長至少800字，請附上個人100字內簡介，文章若採用將經編輯潤飾，如需改標會與您討論。
責任編輯：林美欣
