驅車經過台積電在高雄、嘉義興建中的廠區，即使深夜仍是燈火通明，施工人員與大型機具24小時不停工，只為在2年內從平地「長出」世界級的先進晶圓製造廠。
隨著製程節點升級，晶圓廠興建成本也持續攀升，建置1座2奈米製程晶圓廠約需280億美元（約新台幣9,226億元），比起3奈米廠的約200億美元（約新台幣6,588億元），還要貴上4成。
首先，負責打造半導體廠房的為「廠務工程統包商」，這些業者負責工程的規畫設計、施工發包、監造的整體執行，以確保整體廠房的建設，符合半導體製程的高標準。廠務工程供應商負責的專案範圍廣泛，可再細分成多個專業領域，包括提供高潔淨生產環境的無塵室工程、製程所需的高純度化學品與氣體配管，以及電力、空調和排氣系統等機電整合工程。
在廠務相關供應商中，還有一類的業者值得認識，他們提供感測監控、污染防治、自動化等「智慧製造」相關解決方案，有助提升產線運作效率、確保良率符合標準，並避免生產過程的環境污染問題。
因應ESG浪潮，如何處理製程中產生的高污染廢料、廢液、廢氣，成為晶圓廠當務之急，也從中孕育出零廢及循環經濟商機。
其中，晶圓代工雙雄台積電、聯電近年分別建置「台中零廢製造中心」、「南科循環經濟資源創生中心」，由供應商進駐就地處理製程廢棄物，台積電、聯電並預計會將此模式，拓展至更多廠區。
圖／ 數位時代製作
責任編輯：謝宗穎
