《數位時代》此次採訪8家半導體設備、材料、廠務業者，多為近3年內資本市場的新面孔，堪稱是「Chip Taiwan」台灣隊，為台積電提供最即時的強力支援。
走進新竹竹北的明遠精密廠辦，貨架上擺放著待維修的臭氧產生器（Ozone Generator）、遠程電漿源（RPS）等半導體製程設備，工程師戴著手套、手持鑷子細心地在密密麻麻的電路板上操作。移動到另一個工作區，工程師正在組裝及測試一台台白色外殼、高度及腰的機台，這是明遠自有品牌的射頻電源系統設備（RF Power System）。
2024年11月掛牌上櫃的明遠精密，聚焦於半導體薄膜製程的周邊附屬設備，是台灣唯一具備12吋半導體臭氧產生器維修、自主開發能力的供應商，也是國內首家開發出用於半導體製程射頻電源系統的業者。明遠並和國際設備龍頭廠簽約合作，成為該公司臭氧系統的全球主要維修及研發夥伴。
這個受到美國設備大廠相中、特別來台找幫手的技術，實際上孕育自國立清華大學的實驗室。明遠精密創辦人暨董事長寇崇善，曾是清大物理系的教授，他為何由學術界轉戰半導體設備？又如何從設備的技術維修服務，跨足到更高難度的自研設備？
寇崇善畢業於加州大學洛杉磯分校電機工程博士、清大核子工程系（現工程與系統科學系），研究專長為電漿源及高功率微波，在國內是相對小眾的領域，過去還在學校時，便有設備商會邀請他解說技術、一同探索研發方向。
2000年代初期，寇崇善受邀擔任真空技術設備廠日揚的獨立董事，這個機緣讓他和業界有更深的接觸，而有感於台灣缺乏半導體自製設備、並希望將技術專業發展成產品，讓他有了創業的起心動念。2010年，寇崇善與數名清大、交大學者及工研院資深工程師創立明遠，由設備維修的技術服務起家。
透過維修更懂客戶，自研產品「對症下藥」
雖然不像研發、製造等流程受到外界所熟知，技術服務實是設備產業鏈中不可或缺的一環。寇崇善解釋，半導體設備對於穩定度、妥善率要求非常高，業者甚至會「改機」追求提升性能、節省能耗，因而延伸出龐大的需求及產業。以明遠主攻的業務為例，涵蓋真空系統的真空棒、電源、流量計等關鍵零組件，都需要定期維修和校正。
寇崇善指出，以設備大廠如應用材料（Applied Materials）來說，內部雖有部門支援客戶的設備安裝及維護，但設備原廠的營運重心畢竟著重於新品的研發，這讓各地的技術服務業者，以較實惠的費用、快速靈活地提供服務來搶食商機。用汽車產業來打比方，設備原廠就像定期推出新車款的品牌車廠，技術服務廠好比專注服務車主的外部保修廠，2種業態各司其職。
明遠2024年營收來源近半來自技術服務，自有品牌設備約占3成，其餘則是半導體的備品買賣，儘管技術服務收入穩定、毛利較高，寇崇善說，「明遠最初創業的一大目標，便是希望做出自有品牌的設備。」而透過為客戶維修的過程，可以得知主流產品在客戶心中有哪些缺點及不足，對此加以研發解決，這也是由技術服務切入的利基。
推超效系統，省碳如28座大安森林公園
明遠自製設備瞄準的一大機會，為設備的「替換市場」，亦是由客戶需求所應運而生。寇崇善強調，近年隨著淨零碳排意識抬頭，高耗能的半導體廠十分受到碳權及電費成本衝擊，因此業者為設備汰舊換新時，尤其會把節能視為標配。他直言，「客戶直接跟你講，產品的碳排問題不能解決，我們也沒辦法給你（訂單）。」
明遠主力產品的「ACME」高效節能射頻電源系統，是與日本設備廠京三一同研發，較同類型產品節能效果最高可達68.7％，自2019年通過晶圓代工大廠認證，成為製程標準機台配置。寇崇善提到，ACME設備截至2024年12月底已出貨251套，為客戶所節省的碳排相當於「28座大安森林公園」的吸碳量。
另一方面，明遠也持續擴展海外布局。明遠2023年8月於日本熊本成立子公司，寇崇善指出，前進日本除了台積熊本廠之外，明遠與母公司日揚本身，便有不少日本客戶將設備寄送來台維修，赴日設廠也有助就近服務；至於美國市場由於須考量文化、制度及成本，預計和美國技術服務夥伴合作拓展。
從大學的實驗室到打進晶圓製造、設備龍頭大廠，從幕後的技術服務到台前的自有品牌，明遠正步向更廣闊的世界舞台。
明遠精密
董事長：寇崇善（圖）
成立：2010年
上櫃：2024年11月
產品服務：半導體設備技術服務、研發製造
產業地位：國內唯一提供12吋臭氧供氣設備維修及自主開發業者
營收：2024年營收新台幣7.6億元
母公司：日揚科技集團（2018年併入）
責任編輯：謝宗穎
